Новости "Русский переплет" зарегистрирован как СМИ.
Свидетельство о регистрации в Министерстве печати РФ: Эл. #77-4362 от
5 февраля 2001 года. При полном или частичном использовании
материалов ссылка на www.pereplet.ru обязательна.
Атомно-силовой микроскоп, утвердившись в роли
мощного инструмента для исследования и
модификации поверхности, успешно осваивает и
профессию литографа. Однако принцип работы
микроскопа, когда зонд механически сканируется
по поверхности образца, не позволяет экономно по
времени формировать изображение и
литографировать. Существуют разные способы
сделать работу микроскопа более эффективной по
временным затратам. Один из них - изготовить
кантилеверы с высокой собственной частотой и
использовать более быстродействующие актюаторы
и схемы, контролирующих силу и положение острия.
Другой- увеличить число одновременно
работающих кантилеверов.
Исследователи из Inst. Industrial Science (Univ. Tokyo)
формируют нанометровые кантилеверы и острия
анизотропным травлением в KOH
монокристаллического кремния по двум плоскостям
(111) и (100). С помощью этого метода были изготовлены
кантилеверы длиной 100нм - 100мкм и толщиной 30 -
100нм. Травление по двум плоскостям обеспечивает
очень высокую однородность острий и
кантилеверов, хорошо очерченную форму и
позволяют разместить на 1 см2 более 1 млн.
кантилеверов.
